textarchive.ru

Главная > Исследование


Список принятых докладов XXIII Российской конференции по электронной микроскопии

СекцияI

Электронная микроскопия высокого разрешения и аналитическая электронная микроскопия

Образование нанокристаллов при деформации аморфных сплавов, их морфология и структура

А.С.Аронин, Г.Е.Абросимова, Д.В.Матвеев, О.Г.Рыбченко

Институт физики твердого тела РАН, 142432, Черноголовка Московской области, ул. Институтская, д. 2

ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ НАНОЧАСТИЦ СЕРЕБРА ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИЕЙ ВЫСОКОГО РАЗРЕШЕНИЯ

И.В. Бекетов, Ю.А. Котов, А.И. Медведев, А.М. Мурзакаев, Е.Ю. Соболева

Институт электрофизики УрО РАН, ул. Амундсена, 106, Екатеринбург, Россия, 620016. Тел.: (343) 2678782, факс: (343) 2678794, E-mail: Aidar@iep.uran.ru

ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ ПРОЦЕССОВ ФАЗОВОГО РАССЛОЕНИЯ В НАНОМАТЕРИАЛАХ

А.Л.Васильев

РНЦ «Курчатовский институт» Москва 123182 Москва, пл. Академика Курчатова, д.1.

Институт Кристаллографии РАН 119333 Москва, Ленинский пр.,59

e-mail: a.vasiliev56@

дефектная структура границы раздела между пластинами кремния

Н.Д.Захаров1, В.И.Вдовин2, Е.Пиппель1, П.Вернер1

1Max-PlanckInstitute of Microstructure Physics, 06120 Halle, Weinberg 2, Germany

2Петербургский университет, Ульяновская 1, Петродворец, 198504 Петербург, Россия

ВОССТАНОВЛЕНИЕ ИЗОБРАЖЕНИЙ ТРЕХМЕРНОЙ СТРУКТУРЫ МАКРОМОЛЕКУЛ ПО ПРОЕКЦИЯМ В КРИОЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ

И.Г. Казанцев

Институт вычислительной математики и математической геофизики СО РАН, Новосибирск 630090, проспект Лаврентьева 6

ДИФРАКЦИЯ ЭЛЕКТРОНОВ В ПЭМ НА ОДНОСТЕННЫХ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБКАХ В СВЯЗИ С ПРОВОДЯЩИМИ СВОЙСТВАМИ НАНОТРУБОК

Касумов Ю.А., Ходос И.И., Матвеев В.Н., Касумов А.Ю., Волков В.Т.

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка.

НАБЛЮДЕНИЕ АТОМОВ КАТИОНОВ В НАНОКОМПОЗИТАХ

1Dкристалл@ОСНТ МЕТОДОМ ВРЭМ.

Н.А. Киселев1, Р.М. Закалюкин1, А.С. Кумсков1, А.Л. Васильев1, А.А. Елисеев2, А.В. Кристинин3.

1 Институт кристаллографии РАН, Москва,

2 МГУ, Факультет наук о материалах,

3 Институт проблем химической физики РАН.

СТРУКТУРА НАНОКОМПОЗИТА 1DCoI2@ОСНТ

А.С. Кумсков1, В.Г. Жигалина1, Р.М. Закалюкин1, А.Л. Васильев1, А.А. Елисеев2, А. В. Крестинин3

1 Институт кристаллографии РАН, Москва, 119333, Россия

2Факультет наук о материалах, Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, 119991, Ленинские горы, Россия

3 Институт проблем химической физики, Черноголовка, 142432, Московская область

STRUCTURAL INVESTIGATIONS OF LaAlO3 THIN FILMS DEPOSITED ON TiO2-TERMINATED SrTiO3

E. Nikulina, E. Pippel, W. Peng, D. Hesse, and I. Vrejoiu

Max Plank Institute of Microstructure Physics

Weinberg 2, 06120 Halle,Germany

Структура наночастиц селена, полученных в водных растворах полимеров.

Е.И. Суворова1, В.В. Клечковская1, А.К.Хрипунов2

1 Институт кристаллографии РАН, Ленинский пр., 59, 119333 Москва

2 Институт высокомолекулярных соединений, Санкт-Петербург

Просвечивающая электронная микроскопия эволюции структуры пленок Fe88Zr10N11 после отжига.

Д.Н. Хмеленин1, О.М. Жигалина1, Е.Н. Шефтель2, Г.Ш. Усманова2, A. Carlsson3

  1. Учреждение Российской академии наук Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН, 119333, Москва, Ленинский проспект, 59.

  2. Институт металлургии и материаловедения им.Байкова РАН, 119991,Москва. Ленинский пр-т., 49

  3. FEI Company, P.O. Box 80066, 5600 KA Eindhoven, The Netherlands

НИЗКОВОЛЬТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ В ИССЛЕДОВАНИИ НАНОУГЛЕРОДНАХ МАТЕРИАЛОВ

А.Л. Чувилин1,2, J.C. Meyer2, G. Algara-Siller2, A.N. Khlobystov3, U. Kaiser2

1 CIC nanoGUNE Consolider, Donostia – San Sebastian, Spain

2 Electron Microscopy Group of Materials Science, University of Ulm, Germany

3 School of Chemistry, University of Nottingham, Nottingham, UK

СекцияII

Микроскопия наноструктур

Hut-КЛАСТЕРЫ Ge В МАССИВАХ, ФОРМИРУЕМЫХ НА ПОВЕРХНОСТИ Si(001) МЕТОДОМ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ ПРИ НИЗКИХ ТЕМПЕРАТУРАХ

Л.В.Арапкина, В.А.Юрьев

Институт общей физики им. А.М.Прохорова РАН, 119991, Россия, Москва, ул. Вавилова, 38.

Просвечивающая электронная микроскопия в исследованиях Нанопорошков диоксида циркония

А.В. Багазеев, Ю.А. Котов, А.М. Мурзакаев, О.Р. Тимошенкова, А. Юшков

Институт электрофизики УрО РАН, ул. Амундсена, 106, Екатеринбург, Россия, 620016. Тел.: (343) 2678782, факс: (343) 2678794

Просвечивающая электронная микроскопия в исследованиях Нанопорошков Пермаллоя

И.В. Бекетов, А.М. Мурзакаев, Ю.А. Котов, А.И. Медведев, О.Р. Тимошенкова, Т.М. Демина

Институт электрофизики УрО РАН, ул. Амундсена, 106, Екатеринбург, Россия, 620016. Тел.: (343) 2678782, факс: (343) 2678794

ПОЛУЧЕНИЕ НАНОКОМПОЗИТА CNT/SnOX НА ОСНОВЕ СЛОЕВ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК

В.В.Болотов, В.Е. Кан, Е.В. Князев, С.Н.Несов, В.Е.Росликов, Ю.А.Стенькин, Р.В.Шелягин, Гаврилова Т.А.*

Омский филиал Института физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН г. Омск ул.5-я Кордная 29 индекс 644018

* Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН

ФОРМИРОВАНИЕ СЛОЕВ НАНОКОМПОЗИТА porSi/SnOX

В.В.Болотов, В.Е. Кан, Е.В.Князев, С.Н.Несов, В.Е.Росликов, Ю.А.Стенькин, Р.В.Шелягин, А.Г. Черков*, П.М.Корусенко

Омский филиал Института физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН г. Омск ул.5-я Кордная 29 индекс: 644018

Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН

АНАЛИЗ ВЗАИМНОГО РАСПОЛОЖЕНИЯ БОЛЬШОЙ СОВОКУПНОСТИ НАНООБЪЕКТОВ И ИХ ЛОКАЛЬНАЯ ХАРАКТЕРИЗАЦИЯ МЕТОДАМИ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ

Н.И. Боргардт, Р.Л. Волков. В.Н. Кукин, А.А. Маляров

Московский государственный институт электронной техники (технический университет), 124498, Москва, проезд 4806, д. 5

МОРФОЛОГИЯ СЕЛЕНСОДЕРЖАЩИХ НАНОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ ПОЛИМЕТАКРИЛОВОЙ КИСЛОТЫ

С.В. Валуева, М.Э. Вылегжанина, Л.Н. Боровикова, Т.Е. Суханова

Институт высокомолекулярных соединений РАН,

199004 Санкт-Петербург, Большой пр. В.О., д. 31

ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ ПОЛУЧЕНИЯ НА МОРФОЛОГИЮ И ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА КОМПОЗИТОВ НА ОСНОВЕ ПОЛИАМИДОИМИДА И ГИДРОСИЛИКАТНЫХ НАНОТРУБОК

Г.Н. Губанова1, М.Э. Вылегжанина1, С.В. Кононова1,Т.Е. Суханова1

1Институт высокомолекулярных соединений РАН, 199004, Большой пр. В.О., Санкт-Петербург, Россия

Анализ размеров частиц порошка нанокристаллического кремния, синтезированного плазмохимическим и лазер-но-химическим способами, методом просвечивающей электронной микроскопии

Дорофеев С.Г1., Кононов Н.Н1., Зайцева К.В1., Ищенко А.А1., Авилов А.С.2

1 Московская Академия тонкой химической технологии, Москва, пр-т Вернадского, 86

2Учреждение Российской Академии наук Институт кристаллографии им. А.В.Шубникова РАН, Москва, Ленинский пр. 59.

ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОКОМПОЗИЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ ПОЛИЭТИЛЕНА И ТЕРМОРАСШИРЕННОГО ГРАФИТА

А.Н. Жигач1, Н.Г. Березкина1, И.О. Лейпунский1, П.Н. Бревнов2, Л.А.Новокшонова 2, И.А.Чмутин 2 , В.В.Артемов3

1 Учреждение Российской Академии наук Институт энергетических проблем химической физики РАН, 119334, Москва, Россия, Ленинский проспект, 38, корп.2.

2Учреждение Российской академии наук Институт химической физикиим. Н.Н. СеменоваРАН, 119334, Россия, Москва, , ул. Косыгина 6.

3Учреждение Российской академии наук Институт кристаллографии РАН им. А.В. Шубникова,119333, Москва, Ленинский проспект, 59

ВЛИЯНИЕ МЕТОДОВ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОДИСПЕРСНЫХ ФЕРРИТОВЫХ ПОРОШКОВ НА ИХ СТРУКТУРУ И МАГНИТНЫЕ СВОЙСТВА

Н.А.Запорина1, Я. П.Грабис1, М.М.Майоров2 , Г.М.Хейдемане1

1Институт неорганической химии Рижского Технического Университета, Саласпилс 1 , Миера 34, LV 2169, Латвия

2Институт физики Латвийского Университета, Саласпилс1, Миера 32, LV 2169, Латвия

СТРУКТУРА САМООРГАНИЗОВАННЫХ АНСАМБЛЕЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ И МЕТАЛЛИЧЕСКИХ НАНОЧАСТИЦ НА УГЛЕРОДНЫХ ПОДЛОЖКАХ

М.А. Запорожец1, Д.А. Баранов2, О.М. Жигалина1, В.И.Николайчик3, В.В. Волков1, К.А. Дембо1, С.Н. Сульянов1, С.П. Губин2, А.С. Авилов1, И.И. Ходос3

1Учреждение Российской академии наук Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН, Москва

2Учреждение Российской академии наук Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН, Москва

3Учреждение Российской академии наук Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, г.Черноголовка, Моск. обл.

ФОРМИРОВАНИЕ НАНОСТРУКТУРНЫХ ПЛЕНОК БОРИДОВ, НИТРИДОВ И СИЛИЦИДОВ НА ОСНОВЕ ПЕРЕХОДНЫХ МЕТАЛЛОВ

П.И.Игнатенко, Д.Н.Терпий

Донецкий национальный университет, Донецк, 83055,Университетская, 24, Украина

Морфология и структура наноразмерных анизотропных порошков ферромагнитных металлов.

В.И.Кулинич, Е.И.Бубликов, А.Ю.Изварин, И.В.Белкин.

Южно-Российский государственный технический университет (НПИ), г.Новочеркасск

Исследование морфологии поверхности наноформ КАРБОНИТРИДА БОРА МЕТОДОМ РЭМ и АСМ

Е.А.Максимовский, М.Л. Косинова, С.А. Прохорова,

Б.М. Аюпов, П.Н. Гевко, Ю.М. Румянцев

Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии

им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, 630090

Характеризация нанокристаллических пленок TiCN

Максимовский Е.А.1, Файнер Н.И.1, Румянцев Ю.М.1, Косинова М.Л.1, Кеслер В.Г.2

1ИНХ СО РАН, просп. Акад. Лаврентьева, 3, Новосибирск, 630090

2ИФП СО РАН, просп. Акад. Лаврентьева, 13, Новосибирск, 630090

ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ ВЫСУШИВАНИЯ НАНОЧАСТИЦ ГИДРОКСИДА ЖЕЛЕЗА НА ИХ РАЗМЕРЫ И МОРФОЛОГИЮ.

А.А. Новакова, А.Р. Савилов, И.И. Пузик, В.В. Левина.

Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова 119991, Российская Федерация, Москва, ГСП-1, Ленинские горы.

ИССЛЕДОВАНИЕ структуры наноалмазных порошков и ЛУКОВИЧНООБРАЗНЫХ УГЛЕРОДНЫХ НАНОЧАСТИЦ

В.А.Попов1, И.И.Ходос2, М.Н.Ковальчук2, В.А.Зайцев3 В.В.Роддатис4

1НИТУ «МИСиС», 119049 Москва, Ленинский пр., 4

2Институт проблем технологии микроэлектроники РАН, г.Черноголовка Моск. обл

3ФГУП НИИ НПО «ЛУЧ», г.Подольск Моск. обл.

4РНЦ «Курчатовский институт», Москва

ВРЭМ И АСМ ИССЛЕДОВАНИЯ ПОЛИМЕРНЫХ НАНОСИСТЕМ НА ОСНОВЕ НАНОЧАСТИЦ СЕЛЕНИДА ЦИНКА

Т.Е. Суханова, Г.Н. Матвеева, М.Э. Вылегжанина, А.Я. Волков, С.В. Валуева,
Л.Н. Боровикова, Н.А. Матвеева

Институт высокомолекулярных соединений РАН, г. Санкт-Петербург, Россия

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ДРОБНОЙ РАЗМЕРНОСТИ ФРАКТАЛЬНЫХ СТРУКТУР ПО ДАННЫМ ЭЛЕКТРОННОЙ И АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ

В.С. Фантиков1, Л.Ю. Аммон1, В.А. Жабрев2, В.И. Марголин1

1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ", 197376, Санкт-Петербург, ул. Проф. Попова, д.5, СПбГЭТУ "ЛЭТИ", каф. МИТ

2Институт химии силикатов РАН, 199034 Санкт-Петербург, наб. Макарова д. 2,

СекцияIII

Приборы и электронная оптика

Разработка методов детектирования сигналов для электрон-оптического in-situ мониторинга периодических структур

М.Ю. Барабаненков, В. В. Казьмирук, Т. Н. Савицкая.

ИПТМ РАН, г. Черноголовка

ТЕСТ-ОБЪЕКТ МШПС-2.0К В ПРОСВЕЧИВАЮЩЕМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ

А.Л. Васильев1), В.Б. Митюхляев2), Ю.А. Новиков3),

Ю.В.Озерин4), А.В. Раков2), П.А. Тодуа2)

  1. РНЦ «Курчатовский институт», Москва

  2. Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва

  3. Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, Москва

  4. ОАО “НИИМЭ и завод “Микрон”, Зеленоград, Москва

ВЛИЯНИЕ СПИН-ПОЛЯРИЗАЦИИ МАГНИТНЫХ МОМЕНТОВ ЭЛЕКТРОНОВ НА ФОРМИРОВАНИЕ КРОССОВЕРА

Б.Н.Васичев, Г.И.Фатьянова

Москва, Московский государственный институт электроники и математики,

Б.Трёхсвятительский пер., 1-3/12, стр.8

НЕЛИНЕЙНЫЕ ПРОЦЕССЫ В ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМАХ

Б.Н.Васичев, Г.И.Фатьянова

Москва, Московский государственный институт электроники и математики,

Б.Трёхсвятительский пер., 1-3/12, стр.8

ПРИМЕНЕНИЕ СИСТЕМЫ С ФОКУСИРОВАННЫМ ИОННЫМ ПУЧКОМ FEI FIB 200 ДЛЯ ПРИГОТОВЛЕНИЯ ОБРАЗЦОВ ДЛЯ ПРОСВЕЧИВАЮЩЕЙ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ

Р.Л. Волков, Н.И. Боргардт, В.Н. Кукин

Московский институт электронной техники, 124498, Москва, проезд 4806, д. 5

НАНОРАЗМЕРНЫЕ СТАНДАРТНЫЕ ОБРАЗЦЫ НА БАЗЕ ТРЕКОВЫХ ПОЛИМЕРНЫХ МЕМБРАН

И.Г. Григоров1), С.В. Борисов1), Е.В. Поляков1), О.В.Щепатковский1),

Н.А. Хлебников1), Л.Н. Ромашев2), Б.А. Логинов3), Ю.Г. Зайнулин1),

Г.П. Швейкин1)

1) Учреждение РАН Институт химии твердого тела УрО РАН, 620041, Екатеринбург,

ул. Первомайская 91

2) Учреждение РАН Институт физики металлов УрО РАН, 620041, Екатеринбург,

ул. С. Ковалевской 18

3) Московский институт электронной техники, 124498, Москва, Зеленоград

Взаимодействие электронного пучка с полем кристаллической решётки и представления волновой оптики

Т.А. Гришина, О.Д. Потапкин, В.Ю. Гришина, А.А. Мельников

Мареев А.А.

Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (Технический университет), 119454 Москва, пр. Вернадского, 78

ФРАКТАЛЬНЫЙ АНАЛИЗ И ФИЛЬТРАЦИЯ ЭЛЕКТРОННО-МИКРОСКОПИЧЕСКИХ ИЗОБРАЖЕНИЙ НАНОСТРУКТУР

Б.Н. Грудин, В.С. Плотников, А.В. Кириллов, Н.А. Смольянинов, О.В. Войтенко, Е.Б. Модин

Дальневосточный государственный университет, г.Владивосток, Суханова 8, 690950

Восстановление катода LaB6 для электронного микроскопа
с помощью фокусированного ионного пучка

Ю.А. Дёмин, М.А. Кузнецова, А.Ю. Савенко, А.В. Сорокин

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет “ЛЭТИ”, 197376, Санкт-Петербург, ул. Профессора Попова, д.5

оптимизация режимов регистрации вторично-эмиссионных сигналоВ при 2d-метрологии наноструктур

Н.Н. Дремова, В.В. Казьмирук, Т.Н. Савицкая

ИПТМ РАН, г. Черноголовка

КАЛИБРОВКА ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ДАТЧИКОВ НАНОПЕРЕМЕЩЕНИЙ СКАНИРУЮЩИХ ЗОНДОВЫХ МИКРОСКОПОВ

Ж.Е. Желкобаев, В.В. Календин, А.Ю.Кузин, П.А.Тодуа, Ю.В.Чихалов

ОАО «Научно–исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» 119421, Москва, ул. Новаторов дом 40, корп.1

УЛЬТРАЗВУКОВОЙ ДИСПЕРГАТОР ДЛЯ ПРЕПАРИРОВАНИЯ ОБЪЕКТОВ В ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ ПОЛИМЕРОВ

В.Ю. Жовклый1, А.И. Чемерис2, А.Г. Филатова3, И.И. Чемерис2, К.З. Гумаргалиева3, Т.В. Волкова4, Е.М. Белавцева4

1Сумский Государственный Университет, Украина

2Институт прикладной физики НАН, Сумы, Украина

3Институт химической физики РАН, Москва, Россия

4Учреждение Российской академии наук Институт элементоорганических соединений им. А.Н. Несмеянова РАН, 119991, Москва, ул. Вавилова, 28

МОДЕЛИРОВАНИЕ ОБЪЕКТИВА МАЛОГАБАРИТНОГО РЭМ

В.Ф.Истов1), В.Ф.Дианов1), Б.Н. Васичев2)

1)Московский государственный институт радиотехники электроники и автоматики

2)Московский государственный институт электроники и математики

Разработкаэлектронно-оптической системы для низковольтной системы 2D мониторинга шаблонов для импринт – литографии

В.В. Казьмирук, Т.Н. Савицкая

ИПТМ РАН, г. Черноголовка

Разработка формирующей линзы для низковольтных электронно-зондовых систем высокого разрешения

В.В. Казьмирук, Т.Н. Савицкая

ИПТМ РАН, г. Черноголовка

МИКРОСКОП НА ИОНАХ КСЕНОНА ДЛЯ НАНОМОДИФИКАЦИИ И АНАЛИЗА ПОВЕРХНОСТИ

З. Калбитцер1, В.А.Жуков2

1Ion Beam Technology, Heidelberg, Germany

2Санкт-Петербургский институт информатики и автоматизации РАН, 199178 Санкт-Петербург

МЕТОДИКА ПРИГОТОВЛЕНИЯ ОБРАЗЦОВ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННО-МИКРОСКОПИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙ МАТЕРИАЛОВ НЕУСТОЙЧИВЫХ НА ВОЗДУХЕ

М.Н. Ковальчук1, В.И. Николайчик1, М.А. Запорожец2

1Институт проблем технологии микроэлектроники РАН, Московская обл. г. Черноголовка

2Институт кристаллографии РАН, г. Москва

О преобразовании функций плотности в задачах линейной электронной оптики

Ю.В. Куликов, Д.А. Широков

Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (Технический университет), 119454 Москва, пр. Вернадского, 78, kylikovy@

ОПРЕДЕЛЕНИЕ НАРУШЕННОГО СЛОЯ В ПРИПОВЕРХНОСТНОЙ ОБЛАСТИ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ПРИ ОБЛУЧЕНИИ ИОНАМИ ГАЛЛИЯ

А.И.Мартынов, В.Б.Митюхляев, А.Ю.Озерин, П.А.Тодуа

Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума,

119421, Москва, ул.Новаторов, д.40, корп.1

Рентгеновский спектрометр с неохлаждаемым полупроводниковым детектором на основе монокристаллов

тройных твердых растворов Cd1-xZnxTe

А.А. Мельников, О.А. Мельников, О.Д. Потапкин

Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (Технический университет), 119454 Москва, пр. Вернадского, 78, melnikov@mirea.ru

НАНОМЕТРОЛОГИЯ ЛИНЕЙНЫХ ИЗМЕРЕНИЙ В РОССИИ

Ю.А. Новиков1), А.В. Раков2), П.А. Тодуа2)

1Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, Москва

2Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва

ТЕСТ-ОБЪЕКТЫ ДЛЯ АВТОМАТИЗИРОВАННЫХ ИЗМЕРЕНИЙ

НА РЭМ ЛИНЕЙНЫХ РАЗМЕРОВ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОСХЕМ

В НАНОМЕТРОВОЙ ОБЛАСТИ

Ю.А. Новиков1), А.В. Раков2), П.А. Тодуа2), М.Н. Филиппов3)

  1. Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, Москва

  2. Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва

  3. Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова, Москва

энергетическое распределение вторичных электронов В сканирующем ионном гелиевом микроскопе.

Ю.В. Петров, О.Ф. Вывенко.

Санкт-Петербургский государственный университет, физический факультет, 198504, Санкт-Петербург, Петродворец, ул. Ульяновская, 1.

Лоренцева микроскопия в исследовании особенностей микромагнитного разбиения аморфных и нанокристаллических сплавов переходной металл-редкоземельный металл, переходной металл-металлоид

В.С. Плотников, А.П. Глухов, Б.Н. Грудин, Е.В. Пустовалов, И.С. Смирнов, А.В. Кириллов, С.В. Должиков

Дальневосточный Государственный Университет, г. Владивосток, Суханова 8, 690950

ЗАВИСИМОСТЬ КОЭФФИЦИЕНТА СБОРА РЭМ ОТ ГЕОМЕТРИИ ПРОСТРАНСТВА ПОД ЛИНЗОЙ
О.Д.Потапкин, А.А.Мельников, О.А.Мельников, В.П Кононов.

Московский Государственный Институт Радиотехники, Электроники и Автоматики,119454 Москва, Проспект Вернадского, 78

КАТОДНАЯ ЛИНЗА “ИГЛА НАД ПЛОСКОСТЬЮ” И ЕЁ ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА

О.Д.Потапкин, А.В.Андреев

Московский Государственный Институт Радиотехники, Электроники и Автоматики,119454 Москва, Проспект Вернадского, 78

НОВЫЙ МЕТОД ТРЕХМЕРНОЙ РЕКОНСТРУКЦИИ НАНО- И МИКРОРЕЛЬЕФА ПО СЕРИЯМ РАЗНОФОКУСНЫХ РЭМ-СТЕРЕОИЗОБРАЖЕНИЙ

В.Н. Соколов, О.В. Разгулина, Д.И. Юрковец, М.С. Чернов

МГУ им. М.В. Ломоносова, геологический факультет, г. Москва

СекцияIV

Растровая электронная микроскопия

Создание и изучение свойств индивидуальных точечных эмиттеров на микроскопе Quanta 200 3D

В.В. Артемов1, А. А. Елисеев2, Л.Н.Демьянец1

1 - Учреждение Российской академии наук Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН -119333 Москва Ленинский проспект, д. 59,

2- Факультет наук о материалах МГУ им. М.В. Ломоносова, 119991, Москва Ленинские горы

АНАЛИЗ ФАЗОВОГО СОСТАВА ОТОЖЖЕННЫХ ПЛЕНОК

ОЛОВО-ФУЛЛЕРЕН МЕТОДОМ EBSD

Л.В. Баран

Белорусский государственный университет, 220030 Минск, пр. Независимости, 4

ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ И СОСТАВА ПЛАТИНОВОГО БАЗОВОГО ЭЛЕКТРОДА ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК PZT НА КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ

В.Г. Бешенков, А.Г. Знаменский, В.А. Марченко

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка, Московская область, Россия

ИССЛЕДОВАНИЯ Структуры и электрических свойств лент кремния методами РЭМ

С.К. Брантов1, О.В. Феклисова2, Е.Б. Якимов2

1Учреждение Российской академии наук Институт Физики Твердого тела РАН, 142432 Московская область, г. Черноголовка, ул. Институтская 2

2Учреждение Российской академии наук Институт Проблем Технологии Микроэлектроники РАН, 142432 Московская область, г. Черноголовка,

ул. Институтская 6

ПРИМЕНЕНИЕ РАСТРОВОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ ДЛЯ ИЗУЧЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ ДЕФЕКТОВ ВОЛЬФРАМОВОЙ ПРОВОЛОКИ И СПИРАЛЕЙ.

Г.С. Бурханов, В.М. Кириллова, В.В. Сдобырев, В.А.Кузьмищев,

В.А. Дементьев.

Институт металлургии и материаловедения им. А.А. Байкова РАН, Ленинский пр., 49, Москва, 119991 Россия

ИЗМЕРЕНИЕ НА РЭМ РАЗМЕРОВ ЭЛЕМЕНТОВ РЕЗИСТОВЫХ

МАСОК С ШИРИНОЙ ЛИНИИ ДО 30 НМ

К.А. Валиев1), В.П. Гавриленко2), Е.Н. Жихарев1), В.А. Кальнов1),

Ю.А. Новиков3), А.А. Орликовский1), А.В. Раков2), П.А. Тодуа2)

  1. Физико-технологический институт РАН, Москва

  2. Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва

  3. Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, Москва

ЗЕРЕННАЯ СТРУКТУРА БЫСТРОЗАТВЕРДЕВШИХ ФОЛЬГ ИНДИЯ И ЕГО СПЛАВОВ С ЦИНКОМ И СУРЬМОЙ

Ван Цзинцзе, С.В. Гусакова,В.Г. Шепелевич

Белорусский государственный университет, 220050, Беларусь, Минск,

пр. Независимости, 4

Исследования катодолюминесценции светоизлучающих структур на основе ingan/gan

П.С. Вергелес1, Н.М. Шмидт2, Е.Е. Якимов1, Е.Б. Якимов1

1ИПТМ РАН, Институтская ул. 6, 142432, Черноголовка, тел. +7(49652)44016

2ФТИ им. А.Ф. Иоффе, Политехническая 26, 194021 С.-Петербург

Исследование структурных и люминесцентных характеристик пленок нитрида галлия, выращенных на подложках из поликристаллического алмаза

А.В. Говорков1, А.В. Марков1, А.Я. Поляков1, С.С. Малахов1, М.В. Меженный1, В.Ф. Павлов1, М.П. Духновский2, А.К. Ратникова2, Ю.Ю. Федоров2, О.Ю. Кудряшов3, И.А. Леонтьев3, В.Б. Митюхляев4

1.Государственный научный центр РФ, ОАО «Гиредмет», г. Москва

2.ФГУП НППП «Исток», г. Фрязино Московской области

3.ООО «Твин», г. Москва

4.НИИЦПВ, г. Москва

Исследование электрических и люминесцентных характеристик пленок AlGaN с азотной и галлиевой полярностью, выращенных методом молекулярной эпитаксии

А.В. Говорков1, А.Я. Поляков1, Н.Б. Смирнов1, К.С. Журавлев2, В.Г. Мансуров2, Д.Ю. Протасов2

1.Государственный научный центр РФ, ОАО «Гиредмет», Москва

2.ИФП СО РАН, г. Новосибирск

3D РЕКОНСТРУКЦИЯ МИКРО– И НАНОРАЗМЕРНЫХ ОБЪЕКТОВ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ СИСТЕМ DUALBEAMFIB / SEM

О.Л.Голикова 1, А.В.Беспалов 1, В.Я. Шкловер2, П.Р.Казанский 2

Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (технический университет), 119454, Москва, проспект Вернадского, д.78

ООО «Системы для микроскопии и анализа», 119333, Москва, Ленинский проспект, д.59, стр.2

Исследование зависимости энергии отраженных электронов от угла их выхода.

А.В. Гостев1, С.А. Дицман1, В.Г. Дюков2,

Е.С. Иванова2, Ф.А. Лукьянов2, Э.И. Рау1, Р.А.Сеннов2

1ИПТМ РАН, МО, г. Черноголовка

2МГУ им. М.В. Ломоносова, г. Москва

ИССЛЕДОВАНИЕ ЗЕРЕННОЙ СТРУКТУРЫ ОЛОВА МЕТОДОМ ДИФРАКЦИИ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ (EBSD)

О.В. Гусакова, В.Г. Шепелевич

Белорусский государственный университет, 220050, Беларусь, Минск,

пр. Независимости, 4

Применение плазменной очистки образцов в сканирующей спин-поляризованной электронной микроскопии

С.А.Гусев, М.Н.Дроздов, Е.В. Скороходов

Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур

ЛОКАЛЬНАЯ ДИАГНОСТИКА ГЕТЕРОЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР HgCdTe С БУФЕРНЫМИ СЛОЯМИ ZnTe И CdTe

С.А. Дворецкий1, Ю.Н. Долганин2, В.В. Карпов2, Н.Н. Михайлов1, Н.Н. Михеев3, А.А. Муханова4, А.Н. Поляков5, М.А. Степович5

1 Институт физики полупроводников СО РАН, 630090, г. Новосибирск, пр-т Лаврентьева, д. 13

2 ОАО «Московский завод «Сапфир», 117545, г. Москва, Днепропетровский пр., д. 4а

3 Научно-исследовательский центр «Космическое материаловедение» Института кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН, 248640, г. Калуга, ул. Академическая, д. 2

4 Институт экспериментальной минералогии РАН, 142432, Московская область, Ногинский р-н, г. Черноголовка, ул. Институтская, д. 4

5 Калужский государственный педагогический университет им. К.Э. Циолковского, 248023, г. Калуга, ул. Ст. Разина, д. 26

ИССЛЕДОВАНИЕ В РЭМ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ ФТОРИДОВ, АКТИВИРОВАННЫХ ИОНАМИ РЕДКИХ ЗЕМЕЛЬ

К.М.Девяткова, Л.И.Девяткова, В.Б.Тверской

Московский государственный университет им. М.В.Ломоносова, 119992, Москва, ГСП-2, Ленинские горы.

УТОЧНЕНИЕ ПРЕДСТАВЛЕНИЙ О МЕХАНИЗМЕ ЗАРЯДКИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МИШЕНЕЙ

Е.Н. Евстафьева1, Э. И. Рау2, Р.А. Сеннов1, А.А. Татаринцев1, Б.Г. Фрейнкман2

1Физический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова, 119991, ГСП-1, Москва.

2ИПТМ РАН, Черноголовка, Московская обл.

Электронно-индуцированный потенциал в РЭМ. Особенности изучения электрической активности протяженных дефектов в Si

В.Г. Еременко, Н.А. Орликовский, Э.И. Рау

Учреждение Российской академии наук Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, 142432, г. Черноголовка, Московская обл., Россия.

Прямое измерение диаметра и распределения плотности тока в кроссовере электронного зонда.

С.И. Зайцев1, Н.А. Кошев2, Ф.А. Лукьянов2, Э.И. Рау1, Е.Б. Якимов1

1ИПТМ РАН, МО, г. Черноголовка

2МГУ им. М.В. Ломоносова, г. Москва

ИССЛЕДОВАНИЕ В РЭМ ПРОЦЕССА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОГО СПЕКАНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ МОЩНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ С ПОМОЩЬЮ НАНОЧАСТИЦ СЕРЕБРА.

В.А. Злобин1, Ю.Г. Сорокин1, В.В. Козлов2

1Всероссийский электротехнический институт им. В.И.Ленина, 111250, Москва

2Институт нефтехимического синтеза им. А.В.Топчиева РАН, 117912, Москва



Скачать документ

Похожие документы:

  1. Программа фундаментальных исследований президиума ран фундаментальные науки – медицине тезисы докладов

    Программа
    ... . Морфология биокомпозитов по данным электронноймикроскопии определяется взаимодействием нанокристаллов КГА с макромолекулами биополимера (ХИТ) с образованием в процессе ...

Другие похожие документы..